復(fù)雜產(chǎn)品研發(fā)技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)管理研究與應(yīng)用
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圖5 產(chǎn)品技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)管理
(2)過程技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)管理
光刻設(shè)備研發(fā)項(xiàng)目實(shí)施了標(biāo)準(zhǔn)的研發(fā)流程，并將研發(fā)流程固化在reamcenter Project軟件中．任何子系統(tǒng)研發(fā)流程基本類似，都有需求設(shè)計(jì)(定義)、概念設(shè)計(jì)(初步設(shè)計(jì))、詳細(xì)設(shè)計(jì)(技術(shù)設(shè)計(jì))、工藝設(shè)計(jì)和制造與驗(yàn)收諸階段組成．
在研發(fā)過程的每個(gè)階段的重要活動(dòng)，或階段與階段之間的交接活動(dòng)(即里程碑)必須進(jìn)行產(chǎn)品的技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)管理．當(dāng)各系統(tǒng)、子系統(tǒng)、零部件的設(shè)計(jì)由一個(gè)階段進(jìn)入另一階段時(shí)，風(fēng)險(xiǎn)管理小組對(duì)設(shè)計(jì)階段的風(fēng)險(xiǎn)進(jìn)行識(shí)別與評(píng)估，以決定研發(fā)是否進(jìn)入下一階段或重新回到前面的某一活動(dòng)．表1為概念設(shè)計(jì)階段結(jié)束后的工作臺(tái)掩模臺(tái)系統(tǒng)技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)分析．
表1 工作臺(tái)掩模臺(tái)系統(tǒng)技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)分析
通過應(yīng)用上述技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)管理方法，不僅驗(yàn)證了本文提出復(fù)雜產(chǎn)品研發(fā)技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)管理的有效性，也對(duì)保證光刻機(jī)設(shè)備研發(fā)的成功具有重要的實(shí)用價(jià)值．
5結(jié)語
針對(duì)研發(fā)目標(biāo)產(chǎn)品和研發(fā)過程的復(fù)雜性，提出了技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)二維模型和技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)管理體系結(jié)構(gòu)，可應(yīng)用于大型復(fù)雜產(chǎn)品的研發(fā)技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)管理中．基于本文提出的技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)管理體系結(jié)構(gòu)，可進(jìn)一步進(jìn)行產(chǎn)品技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)和過程技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)的定量分析和風(fēng)險(xiǎn)控制。
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