復(fù)雜產(chǎn)品研發(fā)技術(shù)風(fēng)險管理研究與應(yīng)用

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圖5 產(chǎn)品技術(shù)風(fēng)險管理

(2)過程技術(shù)風(fēng)險管理

光刻設(shè)備研發(fā)項目實施了標準的研發(fā)流程，并將研發(fā)流程固化在reamcenter Project軟件中．任何子系統(tǒng)研發(fā)流程基本類似，都有需求設(shè)計(定義)、概念設(shè)計(初步設(shè)計)、詳細設(shè)計(技術(shù)設(shè)計)、工藝設(shè)計和制造與驗收諸階段組成．

在研發(fā)過程的每個階段的重要活動，或階段與階段之間的交接活動(即里程碑)必須進行產(chǎn)品的技術(shù)風(fēng)險管理．當各系統(tǒng)、子系統(tǒng)、零部件的設(shè)計由一個階段進入另一階段時，風(fēng)險管理小組對設(shè)計階段的風(fēng)險進行識別與評估，以決定研發(fā)是否進入下一階段或重新回到前面的某一活動．表1為概念設(shè)計階段結(jié)束后的工作臺掩模臺系統(tǒng)技術(shù)風(fēng)險分析．

表1 工作臺掩模臺系統(tǒng)技術(shù)風(fēng)險分析



通過應(yīng)用上述技術(shù)風(fēng)險管理方法，不僅驗證了本文提出復(fù)雜產(chǎn)品研發(fā)技術(shù)風(fēng)險管理的有效性，也對保證光刻機設(shè)備研發(fā)的成功具有重要的實用價值．

5結(jié)語

針對研發(fā)目標產(chǎn)品和研發(fā)過程的復(fù)雜性，提出了技術(shù)風(fēng)險二維模型和技術(shù)風(fēng)險管理體系結(jié)構(gòu)，可應(yīng)用于大型復(fù)雜產(chǎn)品的研發(fā)技術(shù)風(fēng)險管理中．基于本文提出的技術(shù)風(fēng)險管理體系結(jié)構(gòu)，可進一步進行產(chǎn)品技術(shù)風(fēng)險和過程技術(shù)風(fēng)險的定量分析和風(fēng)險控制。

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